压差式质量流量控制器 D500
  • 压力不敏感性能
    高性能压力补偿新功能简化了供气系统
  • 多量程、多气体、多压力解决方案
    新功能允许用户改变气体类型、满量程流量和供压范围
  • G-LIFE（集成限流器方程的气体定律校验）自诊断功能
    先进的工艺健康监控功能允许操作人员自行进行测试，即使提高通过量，通常也能在三秒或更短的时间内完成测试。
  • 高精度
    先进的三维调整功能提高了工艺气的流量精度
  • 快速响应
    响应时间：< 0.8 秒
    可实现精确、稳定的流量控制
  • 动态范围
    控制范围广：0.2% 满量程 至 100% 满量程