优点:

• 适用于高真空环境：不锈钢机身
• 抗腐蚀：PTFE 机身可选
• RoHS 标准

当排气流量被调整到适合水平：

• 抗蚀剂以薄膜形式均匀分布
• 防止烟雾的二次沉积
• 防止危险蒸气扩散

与流量传感器控制相比，由抗蚀剂和其他污染物累积引起的灵敏度变化较小，同时消除了湍流和其他噪声的影响，确保控制精准、稳定、迅速。