控制算法通过控制流量比实现稳定的分流控制，同时利用 HORIBA STEC 控制优化技术控制 FS-3000 上流压力。此外，即使分流比改变，控制算法也能实现对分流的高速响应。

• 提高可扩展性、维护性能。FS-3000 可通过高速信号处理分离多达 15 个通道。若 MFC 出现故障，仅需更换故障从机即可。

• 灵活响应所需规格 FS-3000 支持混合气体在内的多种气体。此外，FS-3000 还支持 RS-485、DeviceNet 等用户接口。