班奈自动化仪表(上海)有限公司
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LSC 系列紧凑型加热汽化
大流量气化
LSC-A100 提供 TEOS 600SCCM 和 H2O 2SLM 等材料的稳定气化
所有设备维护都可以在设备前端进行
可选掌上型 PDA 用于监控 LSC 的运行状态,并记录和分析运行日志