LU 系列自动供液系统
- 蒸汽压力监视功能作为标准配置，可在更换母罐期间检查吹扫效率
- 可选配称重传感器，监视母罐中残余液体总量
- LU-A1000 系列设计紧凑，采用集成气体系统，与传统配件相比，可显著减小尺寸
- 日常维护时轻松更换部件
- 脱气器模块为标准配置，可降低液体鼓泡风险，适用于各种汽化系统，包括注入和烘烤应用
- 安全标准：SEMI S2/S8/S14, CE 标志
- 安全改善：多样化的监视设备提供全自动控制。LU-A1000 系列配备了自动紧急关机功能，一旦系统出现故障，该功能将被启动
- 可操作性改进：操作步骤全自动化，防止操作失误。操作也可以通过设备前端的触控面板来控制
