IR-400用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪
IR-400 可在沉积过程中实时监测腔室清洗终点。通过优化清洗过程，IR-400 减少了清洗时间和气体用量。清洗气体用量减少会降低对腔室的损害，并增加所有系统部件的寿命