显微光致发光光谱仪，用于稳态光谱和寿命测量  晶圆表面缺陷快速分析

MicOS显微系统可提供完整的显微光谱测量解决方案，它主要包括一个直接与光谱耦合的显微探测头和一个高性能三光栅成像光谱仪，该光谱仪可同时接三个探测器。

• 覆盖200nm-1600nm的宽光谱范围，可广泛应用于各类材料的测量
• 独特的内置数码相机设计，可以实时观察样品
• 可提供物镜朝下或物镜侧向的两种配置选择，便于测量放置在正置低温恒温器中的样品
• 能与多种激光波长匹配，拥有极强的灵活性，并且易于操作
• 晶圆表面缺陷快速分析
  
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